随着硅、微加工技术、超大规模集成电路技术、材料制备和特性研究的发展，将压力传感器应用于光纤传感器、高温硅压阻和压电结传感器的大规模生产成为可能，压力传感器在生物医学、微机械等领域具有广阔的应用前景。传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一。从宇宙的发展到海底的探索，从生产过程控制到现代文明生活，几乎每一项技术都离不开传感器。因此，许多国家都非常重视传感器技术的发展。例如，日本将传感器技术列为六大核心技术之一(计算机、通信、激光、半导体、超导体、传感器)。在各种传感器中，压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、易于集成等优点，可广泛应用于压力、高度、加速度、液体流量、流量、液位和压力的测量和控制。此外，它还广泛应用于水利、地质、气象、化工、医疗卫生等领域。由于这项技术是平面技术和三维加工的结合，便于集成，可用于制作血压计、风速计、水速度计、压力表、电子秤和自动报警装置。压力传感器已经成为各种传感器中技术最成熟、性能最稳定、性价比最高的一种传感器。因此，从事现代测量和自动控制的技术人员必须了解和熟悉国内外压力传感器的研究现状和发展趋势。
1.国内外压力传感器的研究现状
世界压力传感器的发展趋势主要包括以下几个方向。
电容式真空压力传感器
E H公司的电容式压力传感器是由一个基片和厚度为0.8 ~ (-1)的氧化铝()组成，用自熔焊环钎焊在一起。该环具有隔离功能，不需要温度补偿，可以保持长期测量的可靠性和持久的准确性。测量方法采用电容原理。基板上的一个电容CP位于位移最大的膜片中心，另一个参考电容CR位于膜片边缘。因为边缘不易位移，电容值不变，CP的变化与外加压力的变化有关。隔膜的位移和压力之间的关系是线性的。在过载的情况下，附着在基板上的膜片不会被损坏，在没有负载的情况下，它会立即返回到其原始位置，没有任何滞后。过载量可以达到100%，即使损坏也不会泄漏任何污染介质。因此，具有广阔的应用前景。
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